紫外线法是一种低能量的电磁辐射，可以灭多种微生物。其中，革兰阴性菌最为敏感，其次是革兰阳性菌，再次为芽孢，真菌孢子的抵抗力最强。紫外线的直接作用机制是通过破坏微生物的核酸及蛋白质等而使其灭活，间接作用是通过紫外线照射产生的臭氧杀死微生物。目前多种紫外线灯直接照射实验室净化设备（空气、地面、工作台表面等）进行消毒，用法简便，效果好。
　　紫外线的消毒同紫外线的辐射强度和照射剂量呈正相关，辐射强度随距灯管的距离增加而降低，照射剂量和照射时间成正比。因此，紫外灯同被照物之间的距离和照射时间要适合。如用离地面2m的30W紫外灯可以照射9m的房间，每天照射2～3小时，期间可间隔30分钟。灯管离地面2m以外时，要延长照射时间，2.5m以上则效果较差。紫外线照射实验室净化设备工作台面的距离不应超过1.5m，照射时间以30分钟左右为宜。
　　紫外灯照射还受其他环境条件，如实验室净化设备室温和湿度、空气清洁度、遮挡物、染菌量、紫外灯管的老化程度等影响。紫外线不仅对皮肤、眼睛有伤害，而且对培养细胞与试剂等也产生不良影响，因此，不能开着紫外灯工作。
　　实验室净化设备臭氧发生器消毒法也是常用的方法，这个方法更加有效但是造价比较高。