单轴直线度，XY垂直度和系统回差是造成误差的主要原因。
　　1、齿轮间隙，主要是步进电机与丝杠间的传动齿轮。
　　2连接键的间隙，特别是丝杠上的大齿轮，点滴的间隙在回差上的反应都是不可忽视的。电机轴键间隙的影响不仅有回差，还拌有噪音。
　　3、丝杠与丝母间的间隙，出厂后丝杠付的轴向传动间隙通常在0.003以下，质差的产品则不太有保证。
　　4、丝杠轴承间隙，这个间隙是靠轴承的内外环的轴向调整消除的，但如果轴承质量低劣，会在消除间隙后转动极不灵活，一旦转动轻快了就又有间隙了，所以该处的轴承是不可马虎的。
　　5、力矩传递的整体刚性较差，造成柔弱部位的挠性变形使运动变得迟钝滞后，也以间隙的方式体现出来。
　　以上5个方面，共同造成了系统回差，实际加工中，即使是最简单的封闭图形，也至少有两次排除回差，所以实际加工精度一般在不可消除的回差的两倍左右。如果系统回差是0.006，那么加工精度在0.012是有可能的。
　　两轴的垂直度和各轴的直线度是造成位移失真失准另一主要原因。位移失真失准就是误差。只是这个误差的量是随机的，难以估算的。